APARELHO E MÉTODO PARA MANUFATURAR UM RECIPIENTE DE PLÁSTICO DE BARREIRA CONTRA GASES E RECIPIENTE DE PLÁSTICO DE BARREIRA CONTRA GASES

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Abstract

APARELHO E MÉTODO PARA MANUFATURAR UM RECIPIENTE DE PLÁSTICO DE BARREIRA CONTRA GASES E RECIPIENTE DE PLÁSTICO DE BARREIRA CONTRA GASES. O objetivo da presente invenção é a apresentação de um aparelho para manufaturar um recipiente de plástico de barreira contra gases que satisfaça simultaneamente a condição que a mesma câmara a vácuo possa ser utilizada até mesmo quando os formatos do recipiente forem diferentes, a condição que uma fonte de potência de alta freqüência seja desnecessária e a condição de que a formação de película possa ser realizada para uma pluralidade de recipientes dentro de uma câmara a vácuo a fim de tornar o aparelho mais barato. Em um aparelho para formar uma película na superfície interna de um recipiente, um catalisador térmico é suportado em uma tubulação de suprimento de gás de abastecimento, e a tubulação de suprimento de gás de abastecimento é introduzida na porta do recipiente, seguida pela formação da película. Em um aparelho para formar uma película na superfície externa de um recipiente, um catalisador térmico é arranjado na periferia do plástico e um gás de abastecimento é soprado para fora através da tubulação de suprimento de gás de abastecimento enquanto o gás de abastecimento é colocado em contato com o catalisador térmico para a formação da película. O resfriamento é realizado para evitar a deformação térmica do recipiente pelo calor irradiado do catalisador térmico. Por exemplo, foi obtido um recipiente em que uma película fina de SiN~x~ contendo hidrogênio que tem uma espessura de película de 5 a 100 nm e uma relação do teor de hidrogênio de 1 a 10% atômicos.