APARELHO PARA A FORMAÇÃO DE PELÍCULA FINA

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Abstract

APARELHO PARA A FORMAÇÃO DE PELÍCULA FINA. A presente invenção refere-se a um aparelho formador de película para formar películas finas com alto desempenho bloqueador de gás, tal como uma película de DLC (Carbono Diamante), uma película de SiOx, uma película de SiOC, uma película de SiOCN, uma película de SiNx, uma película de AlOx sobre a superfície interna e/ou superfície externa de recipientes tais como garrafas PET. O aparelho formador de película é provido com: uma câmara de vácuo para a formação de, em um estado de vácuo, uma película sobre uma superfície de um recipiente (4) usando-se um elemento gerador de calor (21); um dispositivo de evacuação de vácuo para aspirar a câmara de vácuo; e um dispositivo de deslocamento relativo para deslocar relativamente o recipiente (4) e o elemento gerador de calor (21) na câmara de vácuo depois de iniciar a aspiração da câmara de vácuo.