MÉTODO PARA REMOVER SELETIVAMENTE UMA CAMADA, PARA CRIAR ESTRUTURAS, PARA PLANARIZAÇÃO DE UMA SUPERFÍCIE, E PARA A REDUÇÃO DA RUGOSIDADE DE UMA SUPERFÍCIE.

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: "REMOÇÃO SELETIVA DE MATERIAL POR IRRADIAÇÃO". Um aparelho e um método para remover seletivamente material não desejado a partir da superfície de um substrato provêm um fluxo de gás inerte sobre a superfície de substrato de material não desejado enquento irradiando o material não desejado com fótons energéticos. A invenção possibilita a remoção de material não desejado sem alterar as propriedades físicas subjacente ou adjacente ao material não desejado removido. A invenção pode ser aplicada para reduzir mudanças em topografia de superfície (incluindo planarização de superfície e nanoestruturação).