Arquivamento definitivo - Art. 33 da LPI
#11.1.1
05/25/2010
RPI 2055
Application data
Number
PI0503903Type
Filing
Publication
The application was abandoned: examination was not requested within the 36 months following the 09/27/2005 filing, the deadline set by art. 33 of the Brazilian IP Act. The technology is in the public domain in Brazil.
Talk to a specialistLatest action published by the INPI: 05/25/2010. We update with every new RPI gazette, published weekly.
Applicants
IDC, LLC
US
Inventors
B. A. (pessoa física)
US
P. F. (pessoa física)
CA
W. C. (pessoa física)
US
IPC Classification
Priority claims
US
11/045,588 · 01/28/2005
US
60/613,417 · 09/27/2004
Abstract
"CÂMARA DE CORROSÃO PORTÁTIL". Uma câmara de corrosão é configurada para suportar um substrato de MEMS no interior da câmara. A câmara de corrosão está configurada para se movimentar e atar, de forma fácil, a uma estação de corrosão que inclui uma fonte de vapor ou decapante gasoso, uma fonte de gás de purga e/ou uma fonte de vácuo. A câmara de corrosão portátil pode facilitar um processo para corrosão do substrato de MEMS ali contido. Como exemplo, um substrato MEMS em tal câmara de corrosão pode ser corroído por conexão da câmara em uma estação de corrosão e exposição do substrato MEMS a um decapante de modo a corroer o substrato MENS. O substrato pode ser movimentado para a ou da estação de corrosão dentro da câmara de corrosão portátil. Em modalidades preferidas, o substrato MEMS é um modulador interferométrico e o decapante é o XeF~ 2~.
Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).
#11.1.1
05/25/2010
RPI 2055
#11.1
12/01/2009
RPI 2030
#3.1
05/09/2006
RPI 1844
#2.1
11/08/2005
RPI 1818
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