DISPOSITIVO E MÉTODO PARA GRAVAÇÃO ÓPTICA DE UMA REDE DE DIFRAÇÃO EM UMA PEÇA DE TRABALHO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

DISPOSITIVO E MÉTODO PARA GRAVAÇÃO ÓPTICA DE UMA REDE DE DIFRAÇÃO EM UMA PEÇA DE TRABALHO.Dispositivo de gravação de rede de difração em peça de trabalho com configuração óptica com laser, dispositivo de formação de feixe, dispositivo de divisão de feixe, e cabeçote de foco. O laser para emitir feixe de laser. O dispositivo de formação de feixe para controlar diâmetro de distribuição de intensidade de luz no feixe de laser, e emitir feixe de laser primário. O dispositivo de divisão de feixe para dividir o feixe de laser primário em pluralidade de feixes divididos para a gravação. O cabeçote de foco com lente objetiva de microscópio (109) para focar os respectivos feixes divididos, nos focos respectivos, na peça de trabalho, sistema de autofoco para produzir sinal de posicionamento para ajustar e manter distância entre a lente objetiva e a peça de trabalho, e manter os respectivos focos dos feixes divididos na peça de trabalho e emitir o sinal de posicionamento; e micro acionador para receber o sinal de posicionamento e ajustar a distância entre a lente objetiva e a peça de trabalho, o sistema de autofoco e o micro acionador são conectados em circuito fechado. O dispositivo de gravação com, adicionalmente, dispositivo de posicionamento para realizar o posicionamento relativo entre a peça de trabalho, nos focos respectivos dos feixes divididos, e a configuração óptica; e controlador para controlar o dispositivo de posicionamento e o laser, de acordo com as instruções de gravação, para a rede de difração.