DISPOSITIVO SEMICONDUTOR DE MEDIÇÃO DE PRESSÂO DIFERENCIAL

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção de "DISPOSITIVO SEMICONDUTOR DE MEDIÇÃO DE PRESSÃO DIFERENCIAL" . Este é um dispositivo semicondutor de medição de pressão diferencial que compreende dois diafragmas de medição e dois sensores de detecção fornecidos em um substrato semicondutor usando-se técnicas de microusinagem, e um circuito de computação que calcula as diferenças entre estas duas saídas de sensores: para cada um dos dois diafragmas de medição, o furo de medição de comunicação de transmissão de pressão é fornecido respectivamente para que estes dois diafragmas de medição operem em fases opostas pela pressão diferencial; e os dois sensores acima fornecidos em cada diafragma relevante e detectando o deslocamento ou deformação de cada diafragma de medição gerado pela pressão diferencial aplicada a cada diafragma de medição. A detecção das diferenças no deslocamento ou deformação de cada um destes dois diafragma de medição cancela o erro de pressão estática e o erro de temperatura e, portanto, oferece um dispositivo semicondutor de medição de pressão diferencial que possui excelentes características de temperatura e pressão estática. Além disso, o circuito de computação pode ser configurado simplesmente compondo-se um circuito de ponte requerido usando pelo menos um primeiro sensor e um segundo sensor, cada um localizado em cada um dos dois diafragmas de medição, levando a uma redução nos custos de fabricação.