Processo para fabricar um polissilício com uma resistência de folha uniforme, e, Processo para fabricar um elemento aquecedor

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Os resistores de elementos aquecedores são formados por deposição de vapor química de silício policristalino em pelo menos um dentre um perfil de temperatura plano e um perfil de temperatura em rampa de 620 graus C a 640 graus C em uma primeira concretização. Um processo dessa natureza de formação do polissilício resulta em uma dimensão de grão predominantemente uniforme de aproximadamente 1000 angstrom, onde a dimensão de grão pode variar entre 200 angstrom a 1000 angstrom. Alternativamente, os resistores são formados por deposição de vapor química de polissilício amorfo em pelo menos um dentre um perfil de temperatura plano a uma temperatura abaixo de 580 graus C e um perfil de temperatura em rampa de 565 graus C a 575 graus C. Na concretização alternativa, o polissilício tem uma dimensão de grão de pelo menos 1000 angstrom. Durante a implantação iônica de dopantes quer do tipo-p quer do tipo-n no polissilício, um canhão aspersor localizado em um implantador de íons emite elétrons de baixa energia para neutralizar o acúmulo de cargas negativas sobre a superfície do polissilício. Devido aos elétrons de baixa energia prevenirem o acúmulo de cargas positivas sobre a superfície do polissilício, o acúmulo usual de um campo elétrico sobre a superfície do polissilício é eliminado, e o polissilício pode ser uniformemente dopado por implantação iônica de dopantes. Utilizando o canhão aspersor durante a fabricação dos elementos aquecedores da cabeça impressora, os resistores dos elementos aquecedores e cabeças impressoras tem resistências de folha substancialmente uniformes entre si. As resistências de folha dos resistores na cabeça impressora variam menos de 3% e de preferência menos de 1%. As ditas baixas variações em resistência de folha previnem subtensão e sobretensão de serem aplicadas aos resistores e prolonga a vida útil do elemento aquecedor e assim, da cabeça impressora.