MÉTODO PARA A PRODUÇÃO DE CAMADAS DE ÓXIDA DE METAL ATRAVÉS DE VAPORIZAÇÃO A ARCO, ALVO DE PÓ METALÚRGICO, CAMADA DE ÓXIDO DE METAL E SEU USO.

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Abstract

MÃTODO PARA A PRODUÃÃO DE CAMADAS DE ÃXIDO DE METAL ATRAVÃS DE VAPORIZAÃÃO A ARCO, ALVO DE Pà METALÃRGICO, CAMADA DE ÃXIDO DE METAL E SEU USO. Por tratar a invenção de um método para a produção de camadas oxídicas por meio de PVD (deposição física de vapor), especificamente por meio de vaporização a arco catódico, no qual um alvo de pó metalúrgico é vaporizado e o alvo de pó metálico é formado de pelo menos dois elementos metálicos ou semimetálicos, a composição dos componentes metálicos ou semimetálicos, respectivamente do alvo, sendo escolhida de tal maneira que durante o aquecimento na transição da temperatura ambiente para a fase líquida nenhum dos limites de fases das fases puramente sólidas, baseadas no diagrama de fases de uma mistura fundida dos pelo menos dois elementos metálicos ou semimetálicos, sejam atravessados.