MÉTODO PARA REVESTIMENTO POR LAMINAÇÃO DE ÍONS EM ARCO DE BAIXA TEMPERATURA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

57) Abstract: Coating method for arc coating or arc ion plating coating of substrates in a vacuum chamber in which using an arc evaporator solid material that functions as cathode is evaporated, during arc evaporation the motion of the cathode spot on the solid material surface is accelerated using a magnetic field for avoiding ejection of a large amount of macro-particles or droplets from the solid material surface, negative charged particles resulted from the arc evaporation flow from the cathode to an anode, characterized by the motion of the negative charged particles from the cathode to the anode fundamentally doesn't cause an additional increase of the absolute value of the potential difference between cathode and anode allowing a lower increment of the substrate temperature during coating.TRADUÇÃO DO RESUMORESUMOPatente de Invenção para: "REVESTIMENTO DE LAMINAÇÃO DE ÍONS EM ARCO DE BAIXA TEMPERATURA". A presente invenção se refere a um método de revestimento para revestimento de arco ou revestimento de laminação de íons em arco de substratos em uma câmara a vácuo na qual usando um evaporador de arco de material sólido que funciona como catodo é evaporado, durante a evaporação de arco o movimento do ponto de catodo na superfície do material sólido é acelerado usando um campo magnético para evitar a ejeção de uma grande quantidade de macro partículas ou gotículas a partir da superfície do material sólido, as partículas negativamente carregadas resultaram a partir do fluxo de evaporação de arco a partir do catodo para um anodo, caracterizado pelo fato de que o movimento das partículas negativamente carregadas a partir do catodo para o anodo fundamentalmente não causa um aumento adicional do valor absoluto da diferença potencial entre catodo e anodo permitindo um incremento mais baixo da temperatura do substrato durante revestimento.