APARELHO PARA DEPOSIÇÃO DE PLASMA PARA FAZER CÉLULAS SOLARES, E, MÉTODO PARA FORMAR UMA CAMADA DE CÉLULAS SOLARES

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Abstract

APARELHO PARA DEPOSIÇÃO DE PLASMA PARA FAZER CÉLULAS SOLARES, E, METODO PARA FORMAR UMA CAMADA DE CÉLULAS SOLARES Um aparelho para deposição de plasma para fazer células solares compreendendo um transportador tendo um eixo longitudinal para suportar pelo menos um substrato; pelo menos dois módulos, cada um tendo pelo menos uma tocha de plasma para depositar uma camada de um produto de reação sobre o pelo menos um substrato, a pelo menos uma tocha de plasma localizada a uma distância do pelo menos um substrato; uma câmara para conter o transportador e os pelo menos dois módulos; e um sistema de exaustão. Em outro modo de realização, o aparelho para deposição de plasma para fazer células solares compreende: meios para suportar um substrato; meios para suprir reagentes; meios de tocha de plasma para depositar um produto sobre um substrato, os meios de tocha de plasma localizados a uma distância do substrato; e meios para oscilar os meios de tocha de plasma em relação ao substrato.