SISTEMA E MÉTODO PARA FORNECER COMPENSAÇÃO TÉRMICA PARA UM DISPLAY DE MODULADOR INTERFEROMÉTRICO

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Abstract

SISTEMA E MÉTODO PARA FORNECER COMPENSAÇÃO TÉRMICA PARA UM DISPLAY DE MODULADOR INTERPEROMÉTRICO Várias modalidades da invenção se referem a métodos e sistemas para compensação térmica de um dispositivo MEMS. Em certas modalidades, um modulador interferométrico inclui um primeiro eletrodo e um segundo eletrodo flexível situado em um substrato. O segundo eletrodo flexível é uma camada móvel que pode compreender alumínio ou um material contendo alumínio, enquanto o substrato pode compreender vidro. Quando o modulador interferométrico é submetido a uma alteração de temperatura, a diferença em taxas de expansão térmica resulta em uma diminuição na tensão de tração na camada móvel. As modalidades da presente invenção fornecem um filme configurado para compensar a expansão térmica. O filme tem um coeficiente de expansão térmica menor do que o substrato de modo a compensar a expansão da camada móvel com relação ao substrato quando o MEMS é exposto à energia térmica, O filme compensa o descasamento em expansãotérmica entre os materiais do substrato e a camada móvel de modo inibir características ópticas indesejáveis.