MÉTODOS DE FORMAÇÃO DE PLASMA

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Abstract

"MÉTODOS DE FORMAÇÃO DE PLASMA". São providos métodos e aparelho para inflamar, modular e sustentar um plasma para vários processos e tratamentos de plasma. Numa modalidade, um plasma é inflamado sujeitando um gás numa cavidade de processamento de modo múltiplo a radiação eletromagnética tendo uma freqüência entre cerca de 1MHz e cerca de 333 GHz na presença de um catalisador de plasma, que pode ser passivo ou ativo. O catalisador de plasma passivo pode incluir, por exemplo, qualquer objeto capaz de induzir um plasma por deformação de um campo elétrico local. Um catalisador de plasma ativo pode incluir qualquer pacote de partículas ou ondas de energia elevada capaz de transferir uma quantidade suficiente de energia para um átomo ou molécula gasosa para remover pelo menos um elétron do átomo ou molécula gasosa, na presença de radiação eletromagnética.