Películas finas cristalinas com espessura de grão reduzido

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Abstract

"PELÍCULAS FINAS CRISTALINAS COM ESPESSURA DE GRÃO REDUZIDO". São reveladas películas finas com espessura de grão reduzido (RGB) para uso como eletrólitos em células de combustível de óxido sólido (SOFC), membranas de separação de gás ou materiais dielétricos em dispositivos eletrônicos, fotônicos, freqüência de rádio e piroelétricos. Por uso de CCVD, CACVD ou qualquer outro processo de deposição apropriado, as películas de RGB possuindo espessuras de grãos ideais, isentos de poro e estrutura densa podem ser formadas. Além disto, o uso de películas finas de RGB para eletrólitos e formação de eletrodo em SOFCs resulta na densificação para microestrutura de espessura/interface de grão ideal e isenta de poros. São também reveladas membranas de separação de gás para a produção de oxigênio e hidrogênio. Estas membranas semipermeáveis são formadas de camadas de película fina de alta qualidade, densas, herméticas a gás de óxidos de condução misturados sobre substratos cerâmicos porosos. As películas finas de RGB como material dielétrico nos capacitores são também ensinadas aqui. Os capacitores são utilizados de acordo com seus valores de capacitância que dependem de sua estrutura física e permissividade dielétrica. As películas finas de RGB da presente invenção formam camadas dielétricas de perda baixa, com permissividade extremamente alta. Esta permissividade alta faz com que haja formação de dispositivos eletrônicos, fotônicos, etc. que podem ter suas propriedades ajustadas para aplicação de uma inclinação de corrente contínua entre seus eletrodos.