PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE UM SENSOR DE PRESSÃO

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Abstract

PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE UM SENSOR DE PRESSÃO E SENSOR DE PRESSÃO.A presente invenção trata da fabricação de uma estrutura micromecânica para medir ou detectar uma grandeza mecânica ou uma grandeza física e, em particular, um sensor de pressão que compreende tal microestrutura. Mais especificamente, a presente invenção concerne um processo de fabricação de um sensor de pressão que compreende as seguintes etapas: - montagem de um substrato de suporte com uma membrana deformável sobre a qual sondas de tensões foram depositada s, a qual membrana deformável compreende uma zona adelgaçada em seu centro , e o substrato de suporte está disposto acima da membrana deformável, sendo que o substrato de suporte compreende uma superfície superior , uma superfície inferior em contato com a membrana deformável , sendo que o substrato de suporte compreende ainda recessos laterais dispostos acima das sondas de tensões e um recesso central disposto acima a zona adelgaçada da membrana , para obter uma estrutura micromecânica ; e depois de efetuada a montagem , o processo compreende a seguinte etapa: - deposição em uma única etapa de pelo menos um material condutor sobre a superfície superior do suporte e nos recessos laterais do suporte , e o material condutor se estende nos recessos para estar em contato com as sondas de tensões a fim de formar contatos elétricos em ligação com as sondas de tensões.