ESTRUTURA MICROMECÂNICA E SENSOR DE PRESSÃO DIFERENCIAL

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Abstract

ESTRUTURA MICROMECÃNICA E SENSOR DE PRESSÃO DIFERENCIALA presente invenção refere-se a uma estrutura micromecânica destinada a medir ou a detectar uma grandeza mecânica ou uma grandeza dinâmica, especificamente de uma estrutura micromecânica para a medida absoluta relativa ou diferencial de uma pressão. A estrutura micromecânica compreende uma membrana (20) deformável e um substrato de suporte (10), a membrana (20) compreende uma primeira parte (20a) e uma segunda parte (20b) circundada pela primeira parte (20a), segunda parte essa (20b) que apresenta uma espessura inferior à espessura da primeira parte (20a), e a membrana (20) está suspensa acima do substrato [ de suporte (10) definindo assim um espaço livre (30), sendo que a referida estrutura micromecânica comporta ainda um batente inferior (21) apropriado para limitar as deformações da membrana (20), sendo que referido batente inferior (21) está disposto acima do substrato de suporte (10) e se estende no espaço livre (30) a partir do referido substrato de suporte (10) em direção à membrana (20), sendo que o batente inferior (21) comporta ilhotes (101 -108) que se estendem no espaço livre (30) em direção à membrana (20) a partir de uma superfície plana do batente inferior (21), e os ilhotes (101 -108) formam uma estrutura em relevo de modo que em caso de contato entre os ilhotes (101 - 108) e a parte fina (20b) da membrana (20), a superfície de contato entre os ilhotes (101 -108) e a parte fina (20b) da membrana (20) seja pequena em relação à s dimensões da parte fina (20b) da membrana (20).