SENSOR DE PRESSÃO INCLUINDO UMA ESTRUTURA PARA CONTROLAR UMA CAMADA ADESIVA RESISTENTE A VARIAÇÕES DE TEMPERATURA E MÉTODO PARA FABRICAÇÃO DE UM SENSOR DE PRESSÃO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

A presente invenção refere-se a um sensor de pressão in-cluindo: um elemento sensível que inclui um substrato de montagem, o dito substrato de montagem incluindo uma superfície superior e uma superfície inferior, o elemento sensível ainda incluindo um diafragma deformável que é conectado à superfície superior do substrato de montagem; um invólucro, no qual o elemento sensível é colocado, o dito invólucro incluindo uma base; uma estrutura intermediária coloca-da entre a base do invólucro e o substrato de montagem, a dita estru-tura intermediária incluindo uma base, a base incluindo uma superfície superior e uma superfície inferior que é conectada à base do invólucro, a dita estrutura intermediária sendo configurada como para manter o substrato de montagem a uma distância predeterminada da superfície superior da estrutura intermediária; e uma camada adesiva se estendendo na superfície superior da estrutura intermediária. A dita camada adesiva tem uma espessura controlada pela distância predeterminada na qual o substrato de montagem é mantido da superfície superior da estrutura intermediária. A invenção também se refere a um método para fazer tal sensor de pressão.