Dado oficial do INPI

APARELHO PARA DEPOSIÇÃO DE PELÍCULA

Arquivada/ExtintaPatente de InvençãoPCT · JP2009053458

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Dados do pedido

Número

PI0904846

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

25/02/2009

Publicação

30/06/2015

PCT

JP2009053458

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Andamento no INPI

Depósito25/02/09
Publicação30/06/15
Arquivado
Deferimento
Concessão
Em vigor

Pedido arquivado por falta de pagamento das anuidades (art. 86 da LPI). A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 05/04/2016. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

NGK Insulators, LTD.

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Inventores

T. S. (pessoa física)

T. T. (pessoa física)

Dados técnicos

Classificação IPC

C23C 16/50 C23C 16/515 C23C 16/54

Prioridades unionistas

2008-247728 · 26/09/2008

Resumo técnico

APARELHO PARA DEPOSIÃÃO DE PELÃCULA.A presente invenÃ§Ã£o refere-se a unidades de deposiÃ§Ã£o de pelicula 54, cada uma incluindo dois elÃ©trodos, cada unidade de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54 sendo configurada para gerar um plasma entre os dois elÃ©trodos para cobrir substratos 90 com pelÃculas de DLC, uma cÃ¢mara 12 na qual as vÃ¡rias unidades de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54 sÃ£o dispostas e um abastecimento de forÃ§a pulsado 60 incluindo circuitos elÃ©tricos 62 que sÃ£o dispostos para as unidades de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54 respectivas, os circuitos elÃ©tricos 62 aplicando uma voltagem de pulso DC entre um elÃ©trodo de suporte 51 e um contraelÃ©trodo 52 de cada uma das unidades de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo por descumprimento

#8.11

Em virtude do arquivamento publicado na RPI 2343 de 01-12-2015 e considerando ausência de manifestação dentro dos prazos legais, informo que cabe ser mantido o arquivamento do pedido de patente, conforme o disposto no artigo 12, da resolução 113/2013.

05/04/2016

RPI 2361

Arquivamento por falta de pagamento

#8.6

Referente à 6ª anuidade.

01/12/2015

RPI 2343

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

30/06/2015

RPI 2321

Alteração de dados cadastrais

#1.1

30/08/2011

RPI 2121

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