Arquivamento definitivo - Art. 33 da LPI
#11.1.1
25/05/2010
RPI 2055
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Dado oficial do INPI
MÉTODO E SISTEMA PARA CORROSÃO POR FLUORETO DE XENÔNIO COM EFICIÊNCIA APERFEIÇOADA
ArquivadaPatente de Invenção
Dados do pedido
Número
PI0503893Tipo
Patente de Invenção
Depósito
27/09/2005
Publicação
09/05/2006
Andamento no INPI
- Depósito27/09/05
- Publicação09/05/06
- Arquivado
- Deferimento
- Concessão
- Em vigor
Pedido arquivado: o exame técnico não foi requerido nos 36 meses seguintes ao depósito de 27/09/2005, prazo do art. 33 da LPI. A tecnologia está em domínio público no Brasil.
Falar com um especialistaÚltima movimentação publicada pelo INPI: 25/05/2010. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.
Depositantes e inventores
Depositantes
IDC, LLC
US
Inventores
P. F. (pessoa física)
US
W. C. (pessoa física)
US
Dados técnicos
Classificação IPC
Prioridades unionistas
US
11/083.030 · 17/03/2005
US
60/613.423 · 27/09/2004
Resumo técnico
"MÉTODO E SISTEMA PARA CORROSÃO POR FLUORETO DE XENÔNIO COM EFICIÊNCIA APERFEIÇOADA". São providos nesta invenção um equipamento e um método útil para fabricação de dispositivos MEMS. Um aspecto do equipamento descrito provê um substrato compreendendo um material que pode ser corroído exposto a um decapante em estado sólido, em que o substrato e o decapante em estado sólido são dispostos em uma câmara de corrosão. Em algumas modalidades, o decapante em estado sólido é movido para proximidade contígua do substrato. Em outras modalidades, uma partição configurável entre o substrato e o decapante em estado sólido está aberta. O decapante em estado sólido forma um decapante em fase gasosa adequado para corroer o material que pode ser corroído. Em algumas modalidades preferidas, o decapante em estado sólido é difluoreto de xenônio sólido. O equipamento e o método são vantajosamente usados na realização de uma corrosão de liberação na fabricação de moduladores ópticos.
Histórico de despachos
Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).
Arquivamento - Art. 33 da LPI
#11.1
08/12/2009
RPI 2031
Publicação do pedido de patente
#3.1
09/05/2006
RPI 1844
Pedido de patente depositado
#2.1
08/11/2005
RPI 1818
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