Arquivamento definitivo - Art. 33 da LPI
#11.1.1
25/05/2010
RPI 2055
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Dados do pedido
Número
PI0503903Tipo
Patente de Invenção
Depósito
27/09/2005
Publicação
09/05/2006
Andamento no INPI
- Depósito27/09/05
- Publicação09/05/06
- Arquivado
- Deferimento
- Concessão
- Em vigor
Pedido arquivado: o exame técnico não foi requerido nos 36 meses seguintes ao depósito de 27/09/2005, prazo do art. 33 da LPI. A tecnologia está em domínio público no Brasil.
Falar com um especialistaÚltima movimentação publicada pelo INPI: 25/05/2010. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.
Depositantes e inventores
Depositantes
IDC, LLC
US
Inventores
B. A. (pessoa física)
US
P. F. (pessoa física)
CA
W. C. (pessoa física)
US
Dados técnicos
Classificação IPC
Prioridades unionistas
US
11/045,588 · 28/01/2005
US
60/613,417 · 27/09/2004
Resumo técnico
"CÂMARA DE CORROSÃO PORTÁTIL". Uma câmara de corrosão é configurada para suportar um substrato de MEMS no interior da câmara. A câmara de corrosão está configurada para se movimentar e atar, de forma fácil, a uma estação de corrosão que inclui uma fonte de vapor ou decapante gasoso, uma fonte de gás de purga e/ou uma fonte de vácuo. A câmara de corrosão portátil pode facilitar um processo para corrosão do substrato de MEMS ali contido. Como exemplo, um substrato MEMS em tal câmara de corrosão pode ser corroído por conexão da câmara em uma estação de corrosão e exposição do substrato MEMS a um decapante de modo a corroer o substrato MENS. O substrato pode ser movimentado para a ou da estação de corrosão dentro da câmara de corrosão portátil. Em modalidades preferidas, o substrato MEMS é um modulador interferométrico e o decapante é o XeF~ 2~.
Histórico de despachos
Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).
Arquivamento - Art. 33 da LPI
#11.1
01/12/2009
RPI 2030
Publicação do pedido de patente
#3.1
09/05/2006
RPI 1844
Pedido de patente depositado
#2.1
08/11/2005
RPI 1818
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