Pré-aquecedor de gás em uma estufa CVI para o adensamento de substratos anulares porosos dispostos em uma multiplicidade de pilhas verticais anulares de substratos e Processo para o controle de distribuição do gás reagente pré-aquecido

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

"PRÉ-AQUECEDOR DE GÁS E PROCESSO PARA O CONTROLE DE DISTRIBUIÇÃO DO GÁS REATIVO PRÉ-AQUECIDO EM UMA ESTUFA CVI PARA O ADENSAMENTO DE SUBSTRATOS ANULARES POROSOS". Um pré-aquecedor de gás para uma estufa CVI projetado para o adensamento de substratos anulares porosos dispostos em uma multiplicidade de pilhas anulares verticais de substratos, compreendendo: uma manga de material condutor de calor se apoiando sobre a parede de fundo de um susceptor e delimitado uma câmara de pré-aquecimento de gás, com uma abertura de introdução de gás na câmara de pré-aquecimento de gás; um conjunto trocador de calor localizado na câmara de pré-aquecimento de gás; uma placa de distribuição de gás se apoiando sobre a manga, cobrindo a câmara de pré-aquecimento de gás e dotada com uma multiplicidade de passagens para o gás pré-aquecido; uma placa de suporte de carga para sustentar as pilhas de substratos anulares e dotada com uma multiplicidade de passagens em comunicação com passagens respectivas da placa de distribuição e gás e coincidindo com os volumes internos das ilhas respectivas de substratos anulares; e bocais inseridos nas passagens comunicando a zona de pré-aquecimento de gás com os volumes internos das pilhas respectivas de substratos anulares para ajustar os fluxos de gás pré-aquecido admitido respectivamente nos volumes internos citados.