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Dado oficial do INPI

COMPOSIÇÕES DE LIMPEZA DE MICROELETRÔNICOS CONTENDO SAIS DE FLUORETO LIVRES DE AMÔNIA PARA REMOÇÃO SELETIVA DO FOTORRESISTE E LIMPEZA DE RESÍDUO DE CINZA DE PLASMA

Arquivada/ExtintaPatente de InvençãoPCT · US2002021436

Dados do pedido

Número

PI0210895

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

08/07/2002

Publicação

22/06/2004

PCT

US2002021436

Andamento no INPI

  1. Depósito08/07/02
  2. Publicação22/06/04
  3. Arquivado
  4. Deferimento
  5. Concessão
  6. Em vigor

Pedido arquivado por falta de pagamento das anuidades (art. 86 da LPI). A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 18/02/2014. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

Avantor Performance Materials, Inc.

US

Mallinckrodt Baker, Inc.

US

Ver toda a carteira desta empresa

Inventores

C. H. (pessoa física)

US

Dados técnicos

Prioridades unionistas

US

60/304,033 · 09/07/2001

Resumo técnico

"COMPOSIÇÕES DE LIMPEZA DE MICROELETRÔNICOS CONTENDO SAIS DE FLUORETO LIVRES DE AMÔNIA PARA REMOÇÃO SELETIVA DO FOTORRESISTE E LIMPEZA DE RESÍDUO DE CINZA DE PLASMA". A presente invenção refere-se a composições de limpeza sem amônia, sem HF, para limpeza de fotorresistores e resíduos de cinza de plasma de substratos microeletrônicos, e particularmente tais composições de limpeza úteis com e tendo compatibilidade aperfeiçoada com substratos microeletrônicos caracterizados por dielétricos porosos sensíveis e de baixo a alto e metalização de cobre. A composição de limpeza contém um ou mais sal de fluoreto que não produz amônio, que não produz HF, (sal de fluoreto de amônio quaternário, de não-amônio) em uma matriz de solvente adequada.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo por descumprimento

#8.11

Referente ao despacho 8.6 publicado na RPI 2225 de 27/08/2013.

18/02/2014

RPI 2250

Arquivamento por falta de pagamento

#8.6

referente a 11ª anuidade

27/08/2013

RPI 2225

Alteração de nome deferida

#25.4

Nome Alterado de: Mallinckrodt Baker, Inc.

09/08/2011

RPI 2118

Alteração de sede deferida

#25.7

Sede alterada conforme solicitado na Petição nº 020080021179/RJ de 13/02/2008.

19/08/2008

RPI 1963

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

22/06/2004

RPI 1746

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