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Dado oficial do INPI

COMPOSIÇÕES REMOVEDORAS PARA LIMPEZA DE FOTORRESISTOR IMPLANTADO POR ÍONS DE DISCOS DE SILÍCIO DE DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES

ArquivadaPatente de InvençãoPCT · US2010024529

Dados do pedido

Número

PI1008034

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

18/02/2010

Publicação

15/03/2016

PCT

US2010024529

Andamento no INPI

  1. Depósito18/02/10
  2. Publicação15/03/16
  3. Arquivado
  4. Deferimento
  5. Concessão
  6. Em vigor

Pedido arquivado: o exame técnico não foi requerido nos 36 meses seguintes ao depósito de 18/02/2010, prazo do art. 33 da LPI. A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 16/08/2016. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

Avantor Performance Materials, Inc.

US

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Inventores

G. W. (pessoa física)

US

Dados técnicos

Prioridades unionistas

US

61/155,206 · 25/02/2009

US

61/232,800 · 11/08/2009

Resumo técnico

COMPOSIÃÃES REMOVEDORAS PARA LIMPEZA DE FOTORRESISTOR IMPLANTADO POR ÃONS DE DISCOS DE SILÃCIO DE DISPOSITIVOS SEMICONDUTORESA presente invenção refere-se a uma composição para a remoção de fotorresistor implantado por íons de alta dosagem da superfície de um dispositivo semicondutor, a composição contendo pelo menos um solvente com um ponto de fulgor> 65°C, pelo menos um componente que forneça um íon nitrônio e pelo menos um composto inibidor da corrosão de ácido fosfônico, e uso dessa composição para remover o fotorresistor implantado por íons de alta dosagem da superfície de um dispositivo semicondutor..

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo - Art. 33 da LPI

#11.1.1

16/08/2016

RPI 2380

Arquivamento - Art. 33 da LPI

#11.1

24/05/2016

RPI 2368

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

15/03/2016

RPI 2358

Alteração de dados cadastrais

#1.1

21/11/2012

RPI 2185

Monitoramento de patentes

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