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Dado oficial do INPI

COMPOSIÇÕES DE LIMPEZA MICROELETRÔNICA ALCALINAS ISENTAS DE AMÔNIO COM APERFEIÇOADA COMPATIBILIDADE DE SUBSTRATO

Arquivada/ExtintaPatente de InvençãoPCT · US2002021375

Dados do pedido

Número

PI0210888

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

08/07/2002

Publicação

22/06/2004

PCT

US2002021375

Andamento no INPI

  1. Depósito08/07/02
  2. Publicação22/06/04
  3. Arquivado
  4. Deferimento
  5. Concessão
  6. Em vigor

Pedido arquivado por falta de pagamento das anuidades (art. 86 da LPI). A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 18/02/2014. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

Avantor Performance Materials, Inc.

US

Mallinckrodt Baker Inc.

US

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Inventores

C. H. (pessoa física)

US

Dados técnicos

Prioridades unionistas

US

60/304,036 · 09/07/2001

Resumo técnico

"COMPOSIÇÕES DE LIMPEZA MICROELETRÔNICA ALCALINAS ISENTAS DE AMÔNIO COM APERFEIÇOADA COMPATIBILIDADE DE SUBSTRATO". A presente invenção refere-se a composições de limpeza livres de amônia para limpeza de substratos microeletrônicos, e particularmente a tais composições de limpeza úteis com e tendo aperfeiçoada compatibilidade com substratos microeletrônicos caracterizados por dielétricos porosos sensíveis, dielétricos de baixo-~ k~, ou alto-~ k~, e metalização de cobre. Composições de limpeza para separação de fotorresistores, resíduos de limpeza de compostos orgânicos, organo - metálicos e inorgânicos gerados de plasma, e resíduos de limpeza de processos de planarização. A composição de limpeza contém uma ou mais bases fortes produzindo não-amônio contendo contra-íons carregados positivamente, não-nucleofílicos, e um ou mais compostos solventes inibidores de corrosão, o dito composto solvente inibidor de corrosão tendo pelo menos dois sítios capazes de complexação com metais.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo por descumprimento

#8.11

Referente ao despacho 8.6 publicado na RPI 2225 de 27/08/2013.

18/02/2014

RPI 2250

Arquivamento por falta de pagamento

#8.6

referente a 11ª anuidade

27/08/2013

RPI 2225

Alteração de nome deferida

#25.4

Nome Alterado de: Mallinckrodt Baker, Inc.

09/08/2011

RPI 2118

Alteração de sede deferida

#25.7

Sede alterada conforme solicitado na Petição nº 020080021179/RJ de 13/02/2008.

25/03/2008

RPI 1942

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

22/06/2004

RPI 1746

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