SÍNETESE DE ÓXIDOS DE METAL POR EVAPORAÇÃO REATIVA POR ACASO CATÓDICO.

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

SÍNTESE DE ÓXIDOS DE METAL POR EVAPORAÇÃO REATIVA POR ARCO CATÓDICO. A presente invenção refere-se à evaporação reativa por arco catódico dos alvos compostos de Al-Cr e a nucleação e formação de fases das camadas sintetizadas de Al-Cr-O. A pressão parcial de oxigênio e a operação pulsada da corrente do arco influenciam a formação de fases intermetálicas e de soluções sólidas na superfície do alvo. A nucleação dos óxidos ternários no sítio do substrato parece parece ser controlável, em alguma medida, pelos intermetálicos e soluções sólidas, formados na superfície do alvo. um processo específico de nucleação no sítio do substrato pode, portanto, ser induzido pela escolha livre da composição alvo em combinação com a pressão parcial do gás reativo de oxigênio. Além disso, permite o controle sobre o crescimento de ilhas de óxidos na superfície alvo, que ocorre ocasionalmente na pressão parcial mais alta de oxigênio. Isto é apoiado pela análise por direção de raios-x das camadas, bem como da superfície do alvo.