MÉTODO DE REVESTIMENTO POR PULSOS DE ALTA POTÊNCIA

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Resumo técnico

RESUMOPatente de Invenção: "MÉTODO DE REVESTIMENTO POR PULSOS DE ALTA POTÊNCIA". A presente invenção refere-se a um método para a determinação do consumo de gás reativo em um processo de revestimento por meio de plasma, abrangendo os seguintes passos: a) admissão de gás reativo em uma câmara de revestimento, em que é medido o correspondente fluxo de gás reativo e, simultaneamente, será medida a pressão parcial, reinante previamente na câmara de revestimento, sem ignição de plasma; b) admissão de gás reativo em uma câmara de revestimento, sendo medido o fluxo de gás reativo correspondente e, simultaneamente, sendo também medida a pressão parcial, reinante dentro da câmara de revestimento, com ignição de plasma, o qual se caracteriza pelo fato de que os passos a) e b) são realizados com diferentes fluxos de gás reativo, podendo assim ser determinada a dependência entre o fluxo de gás reativo e a dependência da pressão parcial tanto com plasma como também sem plasma, sendo que, com determinada pressão parcial, foi determinada uma dedução do valor do fluxo de gás reativo, determinado sem plasma, e que foi determinado com plasma, e equiparação da diferença com o consumo de gás reacional.