Dado oficial do INPI

INIBIÇÃO DE TRANSPORTE DE EXCESSO DE PRECURSOR ENTRE ZONAS DE PRECURSOR SEPARADAS EM UM SISTEMA DE DEPOSIÇÃO DE CAMADA ATÔMICA

ArquivadaPatente de InvençãoPCT · US2010052757

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Dados do pedido

Número

112012008642

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

14/10/2010

Publicação

13/06/2017

PCT

US2010052757

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Andamento no INPI

Depósito14/10/10
Publicação13/06/17
Arquivado
Deferimento
Concessão
Em vigor

Pedido arquivado pelo INPI. O processo foi encerrado sem chegar a patente e a tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 01/06/2021. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

LOTUS APPLIED TECHNOLOGY, LLC

Inventores

E. D. (pessoa física)

W. B. (pessoa física)

Dados técnicos

Classificação IPC

C23C 16/44 C23C 16/455 C23C 16/52 H01L 21/205

Prioridades unionistas

61/251,639 · 14/10/2009

Resumo técnico

INIBIÇÃO DE TRANSPORTE DE EXCESSO DE PRECURSOR ENTRE ZONAS DE PRECURSOR SEPARADAS EM UM SISTEMA DE DEPOSIÇÃO DE CAMADA ATÔMICA. Sistemas e métodos para deposição ALD de película fina (200, 300) incluem um mecanismo (280, 380) para remover excesso não quimissorvido de precursor a partir de uma superfície de um substrato (210, 310) em um processo baseado em translação envolvendo múltiplas zonas de precursor separadas (214, 216, 314, 316). Mecanismos de remoção de excesso de precursor (280, 380), de acordo com a presente descrição, podem introduzir condições de alta temperatura localizada, condições de alta energia ou azeótropos do excesso de precursor, para liberar o excesso de precursor antes que o mesmo alcance uma zona de precursor separada, deste modo impedindo a ocorrência de deposição CVD sem provocar degradação do substrato induzida por calor.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Adição na publicação

#15.35

01/06/2021

RPI 2630

Manutenção do arquivamento

#11.20

29/09/2020

RPI 2595

Arquivamento - Art. 34 da LPI

#11.5

ARQUIVADO O PEDIDO, UMA VEZ QUE NÃO FORAM ATENDIDAS AS EXIGÊNCIAS PREVISTAS NO ART. 34 DA LPI. DESTA DATA CORRE O PRAZO DE 60(SESSENTA) DIAS PARA EVENTUAL RECURSO DO INTERESSADO.

12/02/2019

RPI 2510

6.20

O depositante deve responder a exigência formulada neste parecer por meio do serviço de código 206 em até 60 (sessenta) dias, a partir da data de publicação na RPI, sob pena do arquivamento do pedido, de acordo com o Art. 34 da LPI.Publique-se a Exigência (6.20).

27/11/2018

RPI 2499