SISTEMA DE MANÔMETRO DE TUBO DE BOURDON COM PUREZA ULTRA-ELEVADA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: "SISTEMA DE MANÔMETRO DE TUBO BOURDON COM PUREZA ULTRA-ELEVADA". Um corpo de bocal de volume reduzido e um tubo de volume reduzido são usados num sistema de medição de pressão num equipamento de processo de fabricação semi-condutor. O corpo de bocal inclui uma saída e um tubo tendo uma extremidade conectada à saída. A saída é um preparado de solda moldado que é formado no corpo de bocal tendo uma superfície interna. Um assento contínuo é formado na saída e inclui uma espessura de assento. O tubo tem uma superfície interna e uma superfície externa, definindo uma espessura de parede que é substancialmente a mesma que a espessura do assento, A extremidade do tubo é encaixada no assento de modo que a parede interna do tubo e a superfície interna da saída estão substancialmente alinhadas para formar uma conexão de bocal a tubo sem fendas.