CONJUNTO DE ESPELHOS ATUADOS POR UM FILME FINO PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

"CONJUNTO DE ESPELHOS ATUADOS POR UM FILME FINO PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA". Um conjunto inventivo (300) de M x N espelhados atuados por filme fino (301) inclui uma matriz ativa (210), uma camada isolante (220), uma camada de parada de corrosão de gravação (230), e um conjunto de M x N estruturas atuadoras (200). Cada uma das estruturas atuadoras tem uma ponta em uma extremidade distal da mesma e uma abertura de gravação atravessando a mesma, adicionalmente incluindo um primeiro eletrodode file fino (285) com um filme horizontal, um elemento eletro deslocado de filme fino (275), um segundo eletrodo de filme fino (265), um elemento elástico (255) e um conduto (295). O filete horizontal (285), aponta e a abertura de gravação são criados de modo a aumentar a eficiência ótica de cada um dos espelhos atuados por filme, facilitando a remoçãoda limpeza e permitindo a fácil remoção da camada de sacrifício de filme fino, respectivamente.