MATRIZ DE ESPELHOS ATUADA DE FILME FINO EM UM SISTEMA ÓPTICO DE PROJEÇÃO, E, PROCESSO PARA FABRICAR A MESMA.

IPC Classification

Abstract

''MATRIZ DE ESPELHOS ATUADA DE FILME FINO EM UM SISTEMA ÓPTICO DE PROJEÇÃO E PROCESSO PARA FABRICAR A MESMA''. A AMA de filme fino tem um substrato, um atuador, uma linha comum e um elemento refletor (180). O substrato tem uma fiação elétrica e um terminal de conexão, e o atuador tem uma camada suporte (130), um eletrodo de fundo (135) e um eletrodo de topo (145), e uma camada ativa (140). A linha comum (150) é formada sobre uma porção do atuador e é conectada ao eletrodo de topo (145). A fiação elétrica e o terminal de conexão podem não ser danificados uma vez que o atuador é formado sobre uma porção de substrato adjacente à porção onde fiação elétrica e o terminal de conexão são formados. A queda de voltagem de um segundo sinal pode ser minimizada, uma vez que a linha comum (150) é formada de forma espessa sobre uma porção do atuador, de modo que um segundo sinal suficiente é aplicado ao eletrodo de topo (145). A planura do elemento refletor (180) pode ser aprimorada, uma vez que o elemento refletor (180) é formado sobre uma segundo camada de sacrifício.