CONJUNTO DE M X N ESPELHOS ATUADOS DE FILME FINO; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICO; E PROCESSO PARA FABRICAÇÃO DE UM CONJUNTO DE M X N ESPELHOS ATUADOS DE FILME FINO

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Patente de Invenção "CONJUNTO DE M x N ESPELHOS ATUADOS DE FILME FINO; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICO; E PROCESSO PARA FABRICAÇÃO DE UM CONJUNTO DE M x N ESPELHOS ATUADOS DE FILME FINO". Proporciona-se um conjunto (50) de M x N espelhos atuados de filme fino (51), para uso em um sistema de projeção ótico, compreendendo: uma matriz ativa (52), um conjunto de M x N estruturas de atuação de filme fino (54), cada uma das estruturas de atuação de filme fino incluindo, pelo menos, uma camada de filme fino de um material de indução de movimento, um par de eletrodos, cada um dos eletrodos sendo proporcionado sobre as partes de topo e de fundo da camada de indução de movimento de filme fino um conjunto de M x N elementos de suporte (56) sendo usado para fixar no lugar cada uma das estruturas de atuação (54) por montagem em balanço de cada uma das estruturas de atuação e também para conectar eletricamente cada uma das estruturas de atuação e a matriz ativa e um conjunto de M x N espelhos (58) para reflexão de feixes de luz, cada um dos espelhos (58) sendo colocado na parte de topo de cada uma das estruturas de atuação (54). Um sinal elétrico é aplicado através da camada de fino do material de indução de movimento, localizado entre o par de eletrodos em cada uma das estruturas de atuação (54), provocando uma deformação, que vai, por sua vez deformar o espelho colocado na parte de topo delas.