SONDA DE METROLOGIA, E, MÉTODOS PARA MEDIR UMA PROPRIEDADE DE UM MATERIAL, E PARA CONFIGURAR UMA SONDA DE METROLOGIA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

SONDA DE METROLOGIA, E, MÃTODOS PARA MEDIR UMA PROPRIEDADE DE UMA MATERIAL, E PARA CONFIGURAR UMA SONDA DE METROLOGIA. Uma sonda de metrologia capaz de medições de uma ampla faixa de propriedades físicas de sondas individuais de dimensões nano ou subnanométricas provida. A sonda, compreende um corpo de sonda, um substrato conectado ao corpo de sonda, e uma ponta próxima o substrato. A sonda compreende adicionalmente um atuador piezelétrico grosso tendo uma entrada elétrica. O piezo grosso é configurado para causar com que a ponta e/ou o substrato se movam um em relação ao outro quando um primeiro sinal elétrico é provido à entrada elétrica. A sonda compreende adicionalmente um filtro passa-baixa em comunicação elétrica com a entrada elétrica do piezo grosso. A sonda compreende adicionalmente um atuador piezelétrico fino tendo uma entrada elétrica configurada para causar com que a ponta e/ou o substrato se movam um em relação ao outro quando um segundo sinal elétrico é provido à entrada elétrica.