ESTRUTURA DE SISTEMAS MICRO-ELETROMECÂNICOS

IPC Classification

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Abstract

"ESTRUTURA DE SISTEMAS MICRO-ELETROMECÃNICOS"A estrutura dos SMEM ("MEMS" estrutura de sistemas microelectromecânicos, na terminologia inglesa) compreende:uma membrana flexível (6), que tem um eixo principal longitudinal (6a) que define uma direcção longitudinal (X), pelo menos um pilar (3, 3'), sob a membrana flexível ( 6) , meios eléctricos para diminuir a actuação ( 7) que são adaptados para curvar a membrana flexível (6) para um estado forçado para baixo por meios eléctricos de aumento da actuação (8) que são adaptados para dobrar a membrana flexível para cima (6) para um estado forçado para cima. Os meios eléctricos para diminuição da actuação (7) ou os meios eléctricos de aumento de actuação (8) compreendem uma área de actuação (7c ou Se), que se estende sob uma parte da membrana (6) e que se adapta para exercer forças de tracção na membrana (6), simultaneamente em ambos os lados de pelo menos um dos pilares referidos (3) na direcção longitudinal (X) .