CAMADA DE BARREIRA DE PERMEAÇÃO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

CAMADA DE BARREIRA DE PERMEAÃÃO. A presente invenção refere-se a um método para a fabricação de barreira de permeação de hidrogênio que compreende as etapas de a) depositar sobre um substrato um sistema (LS) compreendendo ao menos uma camada (L1;L2;L3); caracterizado pelo fato de que a etapa a) compreende a etapa de b) depositar ao menos uma camada de barreira a hidrogênio (HPBL) compreendendo ao menos um óxido ternário. O aparelho compreende um volume que pode ser selado e uma parede que forma uma parte de uma fronteira que limita o dito volume, em que a dita parede compreende uma barreira de permeação de hidrogênio compreendendo um sistema de camada compreendendo ao menos uma camada, em que o dito sistema de camada compreende ao menos uma camada de barreira ao hidrogênio compreendendo pelo menos um óxido ternário. De preferência, o dito óxido ternário é substancialmente composto de Al, Cr e O e a dita deposição da dita, pelo menos uma, camada de barreira ao hidrogênio (HPBL)é executada usando um método de deposição a vapor físico, em particular, um método de evaporação a arco catódico. De preferência, a etapa a) compreende depositar sobre o dito substrato ao menos um de: uma camada de adesão (AdRL), uma camada de armazenamento de hidrogênio (HStL), uma camada protetora (PrTL), em particular uma camada de barreira térmica (ThBL), uma camada de barreira a difusão (DBL), uma camada de barreira a oxidação (OxBL), uma camada de barreira química (CRBL), uma camada de resistência ao desgaste (WRL). Podem ser obtidas excelentes propriedades de barreira de permeação de hidrogênio e o sistema de camada pode ser feito sob medida, conforme for necessário para uma determinada aplicação.