SENSOR A FIBRA ÓPTICA PARA A MEDIDA IN SITU DE TENSÕES RESIDUAIS EM FILMES FINOS

IPC Classification

Abstract

SENSOR A FIBRA ÓPTICA PARA A MEDIDA IN SITU DE TENSÕES RESIDUAIS EM FILMES FINOS. É descrito um sensor a fibra óptica para medida in situ de tensões residuais em filmes finos, dito sensor compreendendo uma viga metálica não magnética 42 como substrato, sobre a qual é depositado um filme fino a partir de um fluxo de deposição 50, gerando tensões residuais que deformam o substrato; um grampo 44 para ancorar mecanicamente uma extremidade da dita viga 42, o grampo 44 tendo um ponto de inserção para a viga 42 e uma cobertura para a mesma, e onde a viga 42 e a cobertura estão separados por uma distância; uma fibra óptica 43 fixada sobre a viga 42 e contendo duas redes de Bragg, sendo uma rede para o sensoriamento somente da variação de temperatura do substrato, e outra rede afastada da primeira para o sensoriamento simultâneo da variação de temperatura e da deformação; e um analisador de espectros óptico 10 como interface do sensor, para medir a variação do comprimento de onda de Bragg da rede devido ao efeito de deformação e variação de temperatura, pelo que a medida direta da variação do comprimento de onda provê o valor da deformação a ser utilizado para determinar a tensão residual a presente na interface filme/substrato.