MÉTODO E EQUIPAMENTO PARA DESENVOLVIMENTO DE UMA PELÍCULA DE NITRETO DE UM METAL DO GRUPO (III) E A PELÍCULA DE NITRETO DO METAL DO GRUPO (III)

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Abstract

MÉTODO E EQUIPAMENTO PARA DESENVOLVIMENTO DE UMA PELÍCULA DE NITRETO DE UM METAL DO GRUPO (111) E A PELÍCULA DE NITRETO DO METAL DO GRUPO (111). É descrito um processo e um equipamento para o desenvolvimento de uma película de nitreto de um metal do grupo (111) pela deposição remota de vapor químico realçado com plasma. O processo compreende aquecer um objeto selecionado do grupo consistindo em um substrato e um substrato compreendendo uma camada amortecedora em uma câmara de desenvolvimento até uma temperatura na faixa de cerca de 400°C até cerca de 750°C, produzir espécies de nitrogênio neutro ativo em um plasma de nitrogênio localizado remotamente à câmara de desenvolvimento e transferindo as espécies de nitrogênio neutro ativo para a câmara de desenvolvimento. Uma mistura de reação é formada na câmara de desenvolvimento, a mistura de reação contendo uma espécie de um metal do grupo (111) que seja capaz de reagir com as espécies de nitrogênio de modo a formar uma película de nitreto de um metal do grupo (111) e uma película de nitreto de metal do grupo (111) é formada no objeto aquecido sob condições onde a película seja adequada aos propósitos do equipamento. Também é descrita uma película de nitreto de metal do grupo (111) que apresenta uma concentração de oxigênio abaixo de 1,6% atômico.