MÉTODOS PARA MELHORIA DO FLUXO ATRAVÉS DE CANAIS DE FLUIDO

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Abstract

"MÉTODOS PARA MELHORIA DO FLUXO ATRAVÉS DE CANAIS DE FLUIDO". Um método para melhoria do escoamento de fluido para um dispositivo de microfluido que tem um orifício passante ou uma fenda ali. O método inclui as etapas de formação de uma ou mais aberturas através de pelo menos parte de uma espessura de um substrato a partir de uma primeira superfície para uma segunda superfície usando-se um processo de ataque químico de íon reativo, por meio do que uma camada de parada de ataque químico é aplicada a superfícies de parede lateral em uma ou mais aberturas durante etapas alternadas de ataque químico e passivação, conforme as aberturas forem atacadas através de pelo menos uma porção do substrato. Substancialmente todo revestimento de camada de parada de ataque químico é removido das superfícies de parede lateral pelo tratamento das superfícies de parede lateral usando-se um método selecionado a partir de um tratamento químico e um tratamento mecânico, por meio do que uma energia de superfície das superfícies de parede lateral tratadas é aumentada em relação a uma energia de superfície das superfícies de parede lateral contendo o revestimento de camada de parada de ataque químico.