UTILIZAÇÃO DE UMA RANHURA EM U COMO UMA ALTERNATIVA À UTILIZAÇÃO DE UMA RANHURA EM V PARA PROTEGER O SILÍCIO CONTRA DANOS INDUZIDOS POR FRATURA

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Abstract

"UTILIZAÇÃO DE UMA RANHURA EM U COMO UMA ALTERNATIVA À UTILIZAÇÃO DE UMA RANHURA EM V PARA PROTEGER O SILÍCIO CONTRA DANOS INDUZIDOS POR FRATURA". A presente descrição relata que pela modificação da metodologia de fratura de matriz de pastilha para um perfil de ranhura em U de um perfil de ranhura em V pela modificação da segunda etapa de gravação para ser uma gravação a seco ao invés de uma gravação molhada resulta em uma economia de custo direta pela eliminação de uma etapa de processo mais dispendiosa, assim como a necessidade de destacar a camada de fotorresistente revelada. Mais ainda, indo para um perfil de ranhura em U executa uma economia de custo adicional indireta e maior que resulta do rendimento do processo aumentado, da produção melhorada, e dos defeitos reduzidos da camada metálica.