SISTEMA DE REMOÇÃO DE REVESTIMENTO CONTENDO UM BOCAL DE PARTÍCULA SÓLIDA COM UM DETECTOR PARA DETECÇÃO DE FLUXO DE PARTÍCULA E MÉTODO ASSOCIADO.

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Abstract

"SISTEMA DE REMOÇÃO DE REVESTIMENTO CONTENDO UM BOCAL DE PARTÍCULA SÓLIDA COM UM DETECTOR PARA DETECÇÃO DE FLUXO DE PARTÍCULA E MÉTODO ASSOCIADO". É provido um aparelho para remoção de um revestimento de um substrato, compreendendo um bocal possuindo uma saída e adaptado para dirigir uma corrente de partículas através do mesmo, a uma razão de fluxo predeterminada, uma fonte de sinal para emissão de um sinal capaz de atravessar a corrente de partículas, e o sensor de sinal posicionado para detectar o sinal emitido pela fonte de sinal, uma vez que o sinal passa através da corrente de partículas. A corrente de partículas é dirigida da saída do bocal na direção de um revestimento em um substrato, para remover o revestimento do substrato. Uma vez que o sinal emitido pela fonte de sinal atravessa a corrente de partículas antes de ser detectado, a intensidade do sinal detectado pelo sensor de sinal corresponde a uma razão de fluxo da corrente de partículas, tal que, uma alteração subsequente na intensidade do sinal que é detectado pelo sensor de sinal indica uma alteração na razão de fluxo da corrente de partículas. É também provido um método para monitorar um fluxo de partícula em um aparelho usado para remoção de um revestimento de um substrato.