Processo para produção de microcomponentes

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: "PROCESSO PARA PRODUÇÃO DE MICROCOMPONENTES". De acordo com o processo, são produzidos microcomponentes com pelo menos uma camada individual, que apresenta camadas funcionais (3) sobre as paredes de estruturas internas, por exemplo, de canais de corrente. Os microcomponentes devem ser apropriados para uma pluralidade de aplicações diferentes na técnica de reação química, para troca de calor, para mistura de substâncias ou para evaporação de líquidos. Particularmente, os microcomponentes não devem apresentar quaisquer problemas no que se refere à estanqueidade dos canais de corrente. O processo apresenta os seguintes etapas de processo: A) produção da pelo menos uma camada individual por a) produção de uma primeira camada metálica ou de um filme metálico (1), b) formação das estruturas internas na elou sobre a primeira camada metálica ou filme metálico (1), por processos de gravação apropriados e/ou processos de aplicação de metal, e c) formação das camadas funcionais (3), exclusivamente sobre as paredes das estruturas internas, e, depois, B) empilhamento e união de uma camada individual com um segmento que fecha as estruturas internas ou de várias camadas individuais entre si e com o segmento de fechamento.