Sistema de nano-deslocamento do feixe de laser em alta frequência

IPC Classification

Abstract

RESUMO Sistema de nano-deslocamento do feixe de laser em alta frequência, descreve sistema de nano-deslocamento de altíssima frequência de lentes pelas quais o laser é conduzido, gerando assim deflexões angulares muito pequenas na direção de propagação deste feixe, o que resulta em micro e nano deslocamento da posição do feixe de laser na área de trabalho com relação à posição teórica inicial pretendida, e consiste na colocação de lentes(1 e 2) no caminho óptico percorrido pelo laser antes de chegar ao scanner(5), sendo que a primeira lente(1) é montada sobre um atuador de alta frequência de excitação e deslocamento, como um atuador piezelétrico, que faz com que o feixe oscile na direção horizontal(11) gerando uma onda com a amplitude e frequência desta oscilação, e a segunda lente(2), contendo um formato apropriado para não influenciar nos deslocamentos gerados pela lente(1), gera a oscilação na direção vertical(21), fazendo com que o resultado da composição destas duas oscilações seja uma área de varredura(3) que possuirá uma amplitude máxima que depende da amplitude de oscilação gerada por cada atuador, da distância entre estas lentes(1 e 2) e a área de varredura(3).1/1