SISTEMA E MÉTODO PARA PRODUZIR CAMADAS MONOCRISTALINAS SOBRE UM SUBSTRATO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

SISTEMA E MÉTODO PARA PRODUZIR CAMADAS MONOCRISTALINA SOBRE UM SUBSTRATO. Sistema (100) para produzir uma camada monocristalina epitaxial sobre um substrato (20) que compreende: um recipiente interno (30) que define uma cavidade (5) para acomodar um material-fonte (10) e o substrato (20); um recipiente de isolamento (50) disposto para acomodar o recipiente interno (30) no mesmo; um recipiente externo (60) disposto para acomodar o recipiente de isolamento (50) e o recipiente interno (30) no mesmo; e meios de aquecimento (70) dispostos fora do recipiente externo (60) e configurados para aquecer a cavidade (5), em que o recipiente interno (30) compreende uma pluralidade de elementos espaçadores (320) dispostos para suportar o substrato (20) a um distância predeterminada acima de um material-fonte monolítico sólido (10), em que cada elemento espaçador (320) compreende uma porção de base (321) e uma porção de topo (322), em que pelo menos parte da porção de topo (322) afila em direção a um vértice ( 323) disposto para entrar em contato com o substrato (20). Um método correspondente também é revelado.