MÉTODO E SISTEMA PARA DETERMINAR E CONTROLAR A DISTÂNCIA DE SEPARAÇÃO ENTRE UM CABEÇOTE DE TRABALHO DE UMA MÁQUINA DE PROCESSAMENTO A LASER E A SUPERFÍCIE DE UM OBJETO SENDO PROCESSADO, POR MEIO DE TÉCNICAS DE INTERFEROMETRIA ÓPTICA DE BAIXA COERÊNCIA

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Abstract

MÉTODO E SISTEMA PARA DETERMINAR E CONTROLAR A DISTÂNCIA DE SEPARAÇÃO ENTRE UM CABEÇOTE DE TRABALHO DE UMA MÁQUINA DE PROCESSAMENTO A LASER E A SUPERFÍCIE DE UM OBJETO SENDOPROCESSADO, POR MEIO DE TÉCNICAS DE INTERFEROMETRIA ÓPTICA DE BAIXA COERÊNCIA.São descritos um método e um sistema para determinar e controlar a distância de separação entre um cabeçote de trabalho de uma máquina-ferramenta e a superfície de um material, compreendendo:- gerar um feixe de radiação óptica de medição de baixa coerência, conduzir o feixe de medição em direção ao material, e conduzir o feixe de medição refletido ou difundido a partir da superfície do material em direção a um arranjo de sensores ópticos interferométricos, em uma primeira direção de incidência;- gerar um feixe de radiação óptica de referência de baixa coerência, e conduzir o feixe de referência em direção ao arranjo de sensores ópticos interferométricos, em uma segunda direção de incidência, em um ângulo de incidência predefinido, em relação à primeira direção de incidência do feixe de medição;- sobrepor o feixe de medição e o feixe de referência em uma região comum de incidência do arranjo de sensores;- detectar a posição de um padrão de franjas de interferência entre o feixe de medição e o feixe de referência na região de incidência; e- determinar uma diferença no comprimento óptico entre o percurso óptico de medição e o percurso óptico de referência, com base na posição do padrão de franjas de interferência ao longo de um eixo de iluminação da região de incidência, que é indicativo de uma diferença entre (a) a distância de separação atual entre o cabeçote de trabalho e a superfície do material, e (b) uma predeterminada distância de separação nominal.