PROCESSO E SISTEMA PARA A DETERMINAÇÃO DA DISTÂNCIA QUE SEPARA UM CORPO E A SUPERFÍCIE DE UM OBJETO ATRAVÉS DA TÉCNICA DE INTERFEROMETRIA ÓTICA COM BAIXA COERÊNCIA EM REGIME DE DISTORÇÃO DE SUBAMOSTRAGEM

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Priority claims

Abstract

PROCESSO E SISTEMA PARA A DETERMINAÇÃO DA DISTÂNCIA QUE SEPARA UM CORPO E A SUPERFÍCIE DE UM OBJETO ATRAVÉS DA TÉCNICA DE INTERFEROMETRIA ÓTICA COM BAIXA COERÊNCIA EM REGIME DE DISTORÇÃO DE SUBAMOSTRAGEM. É descrito um processo e um sistema para determinar a distância que separa um objeto ou um material e uma ferramenta de trabalho ou um instrumento de medição do objeto ou material que contém:-a geração de um feixe de emissão ótica de baixa coerência de medição, a condução do feixe de medição em direção ao objeto, e a condução do feixe de medição refletido ou difundido pelo objeto em direção a uma disposição de sensoriamento ótico de interferometria ao longo de uma primeira direção de incidência;-a geração de um feixe de emissão ótica de baixa coerência de medição, a condução do feixe de referência em direção a disposição de sensoriamento de interferometria ao longo de uma segunda direção de incidência, em um ângulo de incidência predeterminado com relação a primeira direção de incidência do feixe de medição; -a sobreposição do feixe de medição e do feixe de referência sobre uma região de incidência comum da disposição de sensoriamento; -a detecção da posição do motivo de franjas de interferência entre o feixe de medição e o feixe de referência sobre a região de incidência; e - a determinação de uma diferença entre o comprimento ótico entre o percurso ótico de medição e o percurso ótico de referência em função da posição do motivo de franjas de interferência ao longo do eixo de iluminação da região de incidência, a qual é indicativa de uma diferença entre (a) a distância que separa no momento uma ferramenta de trabalho ou o instrumento de medição e a superfície do objeto e (b) a distância de separação nominal predeterminada, sendo que a disposição de sensoriamento compreende uma disposição de foto-sensores, e o ângulo de incidência é controlado de tal forma que para quanto maior a frequência espacial do motivo de franjas de interferência maior é a frequência espacial dos foto-sensores.