GUIA DE ONDA E MÉTODO PARA FABRICAR UMA FERRAMENTA DE GRADE MESTRA DE GUIA DE ONDA

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Abstract

GUIA DE ONDA E MÉTODO PARA FABRICAR UMA FERRAMENTA DE GRADE MESTRA DE GUIA DE ONDA. É fornecido um método para fabricar uma ferramenta de impressão de grade mestra de guia de onda. O método compreende: revestir um substrato com pelo menos uma camada de fotorresistência; expor seletivamente um primeiro perfil mestre de grade de difração em uma primeira área da pelo menos uma camada de fotorresistência; expor seletivamente um segundo perfil mestre de grade de difração em uma segunda área da pelo menos uma camada de fotorresistência; e processar o substrato para formar o primeiro perfil mestre de grade de difração e o segundo perfil mestre de grade de difração. Cada um dentre o primeiro perfil de grade de difração e o segundo perfil de grade de difração compreende uma borda entre o substrato e o respectivo perfil de grade que é substancialmente perpendicular à superfície de substrato e cada uma das bordas tem substancialmente a mesma altura que uma profundidade máxima do primeiro perfil mestre de grade de difração e do segundo perfil mestre de grade de difração.