MÉTODO PARA PREPARAÇÃO DE REVESTIMENTO NANOPROTETOR ALTAMENTE ISOLANTE COM ESTRUTURA DE MODULAÇÃO

IPC Classification

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Abstract

Trata-se de um método para preparação de revestimento nanoprotetor isolante com estrutura demodulação, pertencente ao campo de tecnologia de plasma. No método, uma câmara de reação é levada a um estado de vácuo e um gás inerte é introduzido, um material de base é levado a se mover, e uma estrutura compacta multicamada de modulação de silício/fluorocarboneto orgânico de momento de baixo dipolo é formada por meio de realização de forma alternada de preparação de revestimento orgânico de momento de baixo dipolo e preparação de revestimento de silício orgânico ou preparação de revestimento de fluorocarbono orgânico, podendo reduzir o estresse do revestimento e aumentar a tenacidade do revestimento. Uma vez que a interface lateral é presente entre o silício/fluorocarboneto orgânico de momento de baixo dipolo, quando meios corrosivos encontram a interface lateral durante a corrosão do revestimento, ela pode se desenvolver lateralmente, de modo que a corrosão longitudinal que penetra no revestimento não seja propensa a se formar, evitando que os meios corrosivos penetrem no revestimento e corroam materiais protegidos e dispositivos. Porém, devido ao efeito superlattice da estrutura de nanocamadas de modulação, o acúmulo de deslocamentos entre as camadas torna o revestimento menos propenso a avarias, melhorando a capacidade de ativação sob resistência à água