DISPOSITIVO DE PRATELEIRA ROTATIVA PLANETÁRIA PARA EQUIPAMENTO DE NANORREVESTIMENTO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

É descrito um dispositivo de prateleira rotativa planetária para um equipamento de nanorrevestimento, pertencendo ao campo técnico de revestimento a vácuo. No dispositivo, uma abertura de extração de ar (2) é conectada ao topo de uma câmara (3), um tubo oco (10) é montado na posição de um eixo central da câmara (3), uma extremidade superior do tubo oco (10) é conectada à abertura de extração de ar (2), um motor elétrico rotativo (9) é montado no fundo da câmara (3) e uma prateleira rotativa planetária é montada sobre o motor elétrico rotativo (9). Na prateleira rotativa planetária, um eixo rotativo é conectado ao motor elétrico rotativo (9), o eixo rotativo e o tubo oco (10) são coaxiais, um suporte de prateleira rotativa (11) é fixamente disposto sobre o eixo rotativo, pelo menos dois eixos rotativos planetários (6) são simetricamente dispostas sobre o suporte de prateleira rotativa (11), pelo menos uma camada de palete (8) é disposta sobre os eixos rotativos planetários (6) e peças de trabalho (7) a serem processadas são colocadas sobre a camada de palete (8). Durante o revestimento, a prateleira rotativa planetária executa rotação dupla contínua de girar em torno do eixo e girar sobre seu eixo geométrico, assim impedindo a espessura irregular de peças de trabalho (7) em uma região fixa devida à densidade irregular de um gás monômero químico em cada região. Ademais, a rotação da prateleira rotativa planetária é também vantajosa para misturar plenamente o gás monômero químico que entra na câmara (3) até ficar regular.