PLACA COM ABERTURA NEBULIZADORA, MALHA VIBRATÓRIA DO TIPO NEBULIZADOR E MÉTODO PARA A FABRICAÇÃO DA DITA PLACA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

PLACA DE ABERTURA FOTO DEFINIDA E MÉTODO PARA PRODUZIR OS MESMOS Numa concretização, um método para fabricar uma placa de abertura inclui a deposição de uma camada de sementes libertável de cima de um substrato, a aplicação de uma primeira máscara fotolitografia modelado acima da camada de sementes libertável, a primeira máscara fotolitografia modelado tendo um padrão em negativo com um padrão de abertura desejado, um galvanoplastia primeiro o material acima expostas porções da camada de sementes libertável e definida pela primeira máscara, aplicar uma segunda máscara de fotolitografia por cima do primeiro material, a segunda máscara fotolitografia tendo um padrão em negativo para uma primeira cavidade, galvanoplastia um segundo material de cima as porções expostas do o primeiro material e definida pela segunda máscara, removendo os dois máscaras, e gravando a camada de semente destacável para libertar o primeiro material e o segundo material. O primeiro e segundo material em forma de uma placa de abertura para a utilização em aerossol de um líquido. Outras placas de abertura e de métodos de produção de placas de abertura são descritos de acordo com outras formas de realização.