MECANISMO DE TRANSPORTE DE SUBSTRATO CONTATANDO UM ÚNICO LADO DE UM SUBSTRATO DE TELA FLEXÍVEL PARA DEPOSIÇÃO DE FILME FINO DE ROLO PARA ROLO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

MECANISMO DE TRANSPORTE DE SUBSTRATO CONTATANDO UM ÚNICO LADO DE UM SUBSTRATO DE TELA FLEXÍVEL PARA DEPOSIÇÃO DE FILME FINO DE ROLO PARA ROLO. Sistemas (100, 200, 300, 400) e métodos para deposição de um filme fino em um substrato flexível (106, 206,306,406) envolve a orientação do substrato flexível ao longo de um percurso de transporte em espiral para trás e para frente entre primeira e segunda zonas de precursor espaçadas (110,112, 210,212, 310 ,312, 410, 412), de modo que o substrato transite através das primeira e segunda zonas de precursor múltiplas vezes e cada vez através de uma zona de isolamento intermediária (116, 216, 316, 416) sem contatar mecanicamente uma superfície externa (182, 382) do substrato com um mecanismo de transporte de substrato (166, 168, 170, 266, 270, 274, 276, 366, 370, 466, 470) inibindo, dessa forma, os danos mecânicos ao filme fino depositado na superfície externa, que pode aperfeiçoar o desempenho de camada protetora do filme fino.