Adição na publicação
#15.35
06/01/2021
RPI 2630
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Official data from INPI
INIBIÇÃO DE TRANSPORTE DE EXCESSO DE PRECURSOR ENTRE ZONAS DE PRECURSOR SEPARADAS EM UM SISTEMA DE DEPOSIÇÃO DE CAMADA ATÔMICA
ArquivadaInvention PatentPCT · US2010052757
Application data
Number
112012008642Type
Invention Patent
Filing
10/14/2010
Publication
06/13/2017
PCT
US2010052757 Progress at the INPI
- Filing10/14/10
- Publication06/13/17
- Abandoned
- Allowance
- Grant
- In force
The application was abandoned at the INPI. The case ended without a patent and the technology is in the public domain in Brazil.
Talk to a specialistLatest action published by the INPI: 06/01/2021. We update with every new RPI gazette, published weekly.
Applicants and inventors
Applicants
LOTUS APPLIED TECHNOLOGY, LLC
US
Inventors
E. D. (pessoa física)
US
W. B. (pessoa física)
US
Technical data
IPC Classification
Priority claims
US
61/251,639 · 10/14/2009
Abstract
INIBIÇÃO DE TRANSPORTE DE EXCESSO DE PRECURSOR ENTRE ZONAS DE PRECURSOR SEPARADAS EM UM SISTEMA DE DEPOSIÇÃO DE CAMADA ATÔMICA. Sistemas e métodos para deposição ALD de película fina (200, 300) incluem um mecanismo (280, 380) para remover excesso não quimissorvido de precursor a partir de uma superfície de um substrato (210, 310) em um processo baseado em translação envolvendo múltiplas zonas de precursor separadas (214, 216, 314, 316). Mecanismos de remoção de excesso de precursor (280, 380), de acordo com a presente descrição, podem introduzir condições de alta temperatura localizada, condições de alta energia ou azeótropos do excesso de precursor, para liberar o excesso de precursor antes que o mesmo alcance uma zona de precursor separada, deste modo impedindo a ocorrência de deposição CVD sem provocar degradação do substrato induzida por calor.
Prosecution history
Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).
Manutenção do arquivamento
#11.20
09/29/2020
RPI 2595
Arquivamento - Art. 34 da LPI
#11.5
ARQUIVADO O PEDIDO, UMA VEZ QUE NÃO FORAM ATENDIDAS AS EXIGÊNCIAS PREVISTAS NO ART. 34 DA LPI. DESTA DATA CORRE O PRAZO DE 60(SESSENTA) DIAS PARA EVENTUAL RECURSO DO INTERESSADO.
02/12/2019
RPI 2510
6.20
O depositante deve responder a exigência formulada neste parecer por meio do serviço de código 206 em até 60 (sessenta) dias, a partir da data de publicação na RPI, sob pena do arquivamento do pedido, de acordo com o Art. 34 da LPI.Publique-se a Exigência (6.20).
11/27/2018
RPI 2499
Notificação de acesso ao patrimônio genético
#6.6.1
04/10/2018
RPI 2466
Notificação de entrada na fase nacional - PCT
#1.3
06/13/2017
RPI 2423
Alteração de dados cadastrais
#1.1
11/27/2012
RPI 2186
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