Official data from INPI

CORREDOR DE PLASMA PARA PROCESSAMENTO DE GRANDES VOLUMES DE PE-CVD

ArquivadaInvention Patent

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Application data

Number

102019022232

Type

Invention Patent

Filing

10/23/2019

Publication

11/17/2020

View on INPI

Progress at the INPI

Filing10/23/19
Publication11/17/20
Abandoned
Allowance
Grant
In force

The application was abandoned: the INPI technical office action was not answered in time (art. 36 of the Brazilian IP Act). The technology is in the public domain in Brazil.

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Latest action published by the INPI: 06/13/2023. We update with every new RPI gazette, published weekly.

Applicants and inventors

Applicants

VAPOR TECHNOLOGIES, INC.

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Inventors

B. A. (pessoa física)

G. K. (pessoa física)

R. K. (pessoa física)

V. G. (pessoa física)

Technical data

IPC Classification

C23C 14/04

Priority claims

16/169,777 · 10/24/2018

Abstract

Um sistema de revestimento inclui uma câmara de revestimento tendo uma parede de câmara periférica, uma parede superior e uma parede inferior. A parede da câmara periférica define um centro de câmara. Uma fonte de plasma é posicionada no centro da câmara. O sistema de revestimento também inclui um suporte de amostra que suporta uma pluralidade de substratos a serem revestidos que podem girar em torno do centro da câmara a uma primeira distância do centro da câmara. Um primeiro escudo de isolamento é posicionado em torno do centro da câmara a uma segunda distância do centro da câmara, sendo o primeiro escudo de isolamento carregado negativamente.

Prosecution history

Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).

Arquivamento - Art. 36 §1° da LPI

#11.2

06/13/2023

RPI 2736

Exigência - art. 36 da LPI

#6.1

03/07/2023

RPI 2722

28.30

Concedido o trâmite prioritário requerido através da petição nº 870230000299, de 02/01/2023, haja vista que atende ao disposto nos artigos 3º, 4º e 5º da Portaria INPI PR nº 78, de 16/12/21, publicada na RPI 2712, de 27/12/22.

01/31/2023

RPI 2717

28.10.32

Notificação de requerimento de trâmite prioritário de PPH, conforme protocolo nº 870230000299, de 02/01/2023

01/24/2023

RPI 2716

Publicação do pedido de patente

#3.1

11/17/2020

RPI 2602

Pedido de patente depositado

#2.1

01/28/2020

RPI 2560

Requerimento de pedido de patente

#2.10

Número de Protocolo '870190107568' em 23/10/2019 16:01 (WB)

11/05/2019

RPI 2548

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